1863년, 샤를 프리델 등이 테트라에틸실란을 처음으로 화학적으로 합성함. 이 테트라에틸실란을 비롯한 규소-탄소 결합을 가진 유기 화합물을 유기 규소 화합물이라고 하며, 산업적으로도 다양한 형태로 이용되고 있음.